總有客戶在磁控濺射電源使用過(guò)程中出現(xiàn)些小插曲，其實(shí)可能是沒(méi)有掌握正確的使用方法，如果使用得當(dāng)電源基本不會(huì)出現(xiàn)什么問(wèn)題，今天小篇就總結(jié)一下電源的操作流程及注意事項(xiàng)：

1、操作使用程序

(1) 檢查輸入、輸出線，確定接線無(wú)誤。

(2) 將冷卻水閥門打開(kāi)。

(3) 確認(rèn)靶與真空室外殼無(wú)短路，送氣后真空室內(nèi)氣壓符合工藝要求。

(4) 將電源開(kāi)關(guān)旋鈕旋到“ON”位置，風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)及觸摸屏開(kāi)啟，表明電源已接通。

(5) 將觸摸屏“OFF”按鈕按下，并保持0.5s，經(jīng)過(guò)延時(shí)2s后，電源已做好輸出準(zhǔn)備。

(6) 設(shè)置電流值，電流和電壓逐漸增大。

(7) 根據(jù)工藝要求調(diào)節(jié)電流，輸出有效值電流和電壓都將隨之增加，直到所需值。如真空室內(nèi)氣壓穩(wěn)定，靶面正常，則工作電流是穩(wěn)定電流。

2、關(guān)機(jī)操作

（1） 先將電流設(shè)定為零。

（2） 將觸摸屏電源開(kāi)關(guān)按鈕按下，并保持0.5s，接觸器斷開(kāi)，觸摸屏顯示“OFF”。

（3） 分?jǐn)嘧詣?dòng)空氣開(kāi)關(guān)。

（4） 關(guān)冷卻水閥門。

3、 過(guò)流復(fù)位

在設(shè)備使用過(guò)程中由于負(fù)載短路或打火而產(chǎn)生過(guò)流現(xiàn)象時(shí)，電源都將進(jìn)行自動(dòng)保護(hù)。當(dāng)電流超過(guò)一定范圍時(shí)電源將自動(dòng)將電流調(diào)小，直至過(guò)流狀態(tài)消失。設(shè)備狀態(tài)恢復(fù)時(shí)，電流隨即恢復(fù)到設(shè)定電流值。當(dāng)蜂鳴器會(huì)發(fā)出“嘀…嘀…嘀”連續(xù)的聲音時(shí)，表示電源啟動(dòng)自我保護(hù)程序，主動(dòng)切斷輸出，請(qǐng)及時(shí)檢查負(fù)載是否短路或電源已出現(xiàn)故障。為了重新恢復(fù)正常工作，您必須重新按照開(kāi)機(jī)操作流程運(yùn)行一次。

以上就是磁控濺射電源的使用方式，如果有真空鍍膜電源需求，歡迎以下聯(lián)系方式來(lái)咨詢。

聯(lián)系電話：18025476062（微信同號(hào)）